产品名称:晶圆搬运机器人手臂控制电路板产品简介:专用 PCB,控制 Gasonics Aura A‑2000LL 等离子去胶机机器人手臂运动定位。技术规格:
- 功能:手臂运动控制定位
- 处理器:高速实时轨迹计算
- I/O:伺服控制、编码器反馈
- 通讯:RS‑485功能特点:
- 亚毫米级高精度定位
- 平滑加减速,防晶圆损伤
- 实时故障检测诊断
- 工业级连续运行应用场景:控制机器人手臂,实现晶圆在负载锁与工艺腔间精准装卸传输。
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产品Gasonics 94-2806
品牌Gasonics
型号94-2806
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