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Gasonics 95-0320-01

2026-03-06 14:08 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics 95-0320-01

品牌Gasonics

型号95-0320-01

价格电议

质保一年

电话 15359273790

详情介绍

产品名称：射频发生器接口电路板总成

产品简介：主机与 RF 发生器之间通讯接口板，负责功率控制、阻抗匹配、安全联锁。

技术规格：

功能：RF 发生器控制接口
通讯：0–10V 模拟、RS‑232
高压：隔离高压控制
保护：过压、过流、拉弧检测
适用：Aura、L3500、PEP
功能特点：
精确调节 RF 功率 0–1250W
实时监测正向 / 反射功率
快速响应阻抗变化
集成安全联锁
应用场景：控制监控等离子刻蚀、去胶、沉积 RF 功率系统，保证等离子稳定均匀。

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