产品名称:射频发生器接口电路板总成产品简介:主机与 RF 发生器之间通讯接口板,负责功率控制、阻抗匹配、安全联锁。技术规格:
- 功能:RF 发生器控制接口
- 通讯:0–10V 模拟、RS‑232
- 高压:隔离高压控制
- 保护:过压、过流、拉弧检测
- 适用:Aura、L3500、PEP功能特点:
- 精确调节 RF 功率 0–1250W
- 实时监测正向 / 反射功率
- 快速响应阻抗变化
- 集成安全联锁应用场景:控制监控等离子刻蚀、去胶、沉积 RF 功率系统,保证等离子稳定均匀。
全国服务热线
15359273790
技术过硬,据实报价
分类其它品牌
产品Gasonics 95-0320-01
品牌Gasonics
型号95-0320-01
价格电议
质保一年
电话 15359273790