产品名称:等离子灯控制模块产品简介:与 17447‑01 同功能,为交叉参考型号,用于等离子灯点火、功率调节、稳定运行。技术规格:
- 输入:120/240V AC
- 输出:0–5kV,0–1000W
- 控制:0–10V 模拟 + RS‑232
- 保护:拉弧、过流、过热功能特点:
- 输出稳定
- 点火快速
- 闭环功率控制
- 故障保护完善应用场景:驱动等离子灯,产生稳定等离子用于晶圆光刻胶去除。
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产品Gasonics 95-0550
品牌Gasonics
型号95-0550
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