产品名称:工艺气体集管控制阀总成产品简介:多阀集成一体式集管阀组,用于 Gasonics 等离子系统工艺气体控制切换。技术规格:
- 类型:多口气动控制阀组
- 阀门:高纯度波纹管密封阀
- 气体:O₂、Ar、N₂、CF₄ 等
- 耐压:真空~100 PSIG
- 驱动:24V 直流电磁阀
- 材质:316L 电解抛光不锈钢功能特点:
- 集成结构紧凑,泄漏点少
- 高纯度防污染
- 响应快速,流量控制精准
- 低死体积,省气
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产品Gasonics 96-0148C
品牌Gasonics
型号96-0148C
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