产品名称:晶圆支撑组件 / 腔体部件产品简介:精密支撑部件,用于 Gasonics 等离子腔内部支撑定位晶圆。技术规格:
- 材质:高纯度石英 / 陶瓷
- 结构:支撑针 / 基座结构
- 适用:Aura、PEP 系列
- 耐温:最高 1000℃功能特点:
- 无污染物释放
- 加工精密,定位准确
- 高温等离子环境热稳定
- 低颗粒物产生应用场景:等离子腔内部支撑晶圆,保证刻蚀、去胶、沉积过程均匀处理。
全国服务热线
15359273790
技术过硬,据实报价
分类其它品牌
产品Gasonics A01-330-01
品牌Gasonics
型号A01-330-01
价格电议
质保一年
电话 15359273790