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Gasonics A01-330-01

2026-03-06 14:10 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics A01-330-01

品牌Gasonics

型号A01-330-01

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质保一年

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详情介绍

产品名称：晶圆支撑组件 / 腔体部件

产品简介：精密支撑部件，用于 Gasonics 等离子腔内部支撑定位晶圆。

技术规格：

材质：高纯度石英 / 陶瓷
结构：支撑针 / 基座结构
适用：Aura、PEP 系列
耐温：最高 1000℃
功能特点：
无污染物释放
加工精密，定位准确
高温等离子环境热稳定
低颗粒物产生
应用场景：等离子腔内部支撑晶圆，保证刻蚀、去胶、沉积过程均匀处理。

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