产品名称:真空腔体门阀驱动控制板产品简介:Gasonics Aura 系列等离子去胶机真空门阀专用驱动控制单元,集成驱动、逻辑、安全联锁。技术规格:
- 驱动:直流伺服,闭环位置控制
- 供电:24V 直流,峰值 8A
- 反馈:光电位置传感器,双路冗余
- 通讯:RS‑485,Modbus RTU
- 防护:IP65功能特点:
- 毫秒级响应
- 冗余检测,过力矩保护
- 与真空计联锁
- 模块化热插拔
- 运行数据记录应用场景:控制工艺腔、负载锁主门阀、隔离阀、预抽阀启闭,保障真空稳定。
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产品Gasonics A05-036-01
品牌Gasonics
型号A05-036-01
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