产品名称：负载锁接口电路板产品简介：负载锁与主机系统通讯控制核心板，管理压力控制、门联锁、晶圆时序。技术规格：
- 功能：负载锁系统接口控制
- 通讯：高速数字 I/O、RS‑485、模拟传感器
- 供电：24V 直流
- 适用：Aura A‑2000LL，替换 0-2608
- 版本：C 版功能特点：
- 实时监控压力、温度、门状态
- 集成安全联锁
- 故障检测诊断
- 直接替换老版本
- 工业级洁净真空环境适用应用场景：实现负载锁安全自动运行，完成晶圆大气 — 高真空环境传输。
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Gasonics A89-030-01
2026-03-06 14:13 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics A89-030-01
品牌Gasonics
型号A89-030-01
价格电议
质保一年
电话 15359273790
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