产品名称：Aura A1000 联锁电路板总成产品简介：安全控制核心 PCB，监控门位置、急停、安全传感器，保证设备安全运行。技术规格：
- 功能：系统安全联锁控制
- 输入：多路安全开关传感器
- 输出：继电器安全联锁、使能信号
- 通讯：主机接口
- 适用：Aura A1000功能特点：
- 监控所有关键安全联锁（腔门、急停）
- 不满足安全条件禁止运行
- 故障指示便于排查
- 符合半导体安全标准应用场景：保证 Gasonics 等离子设备安全，晶圆处理与维护时防范
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Gasonics A90-003-01
2026-03-06 14:17 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics A90-003-01
品牌Gasonics
型号A90-003-01
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