产品名称：真空腔晶圆传输机械臂组件产品简介：真空洁净环境专用轻量化机械臂，实现 200mm 晶圆在工艺腔、负载锁、定位台间高精度传输。技术规格：
- 适用：200mm 晶圆
- 运动：旋转 + 伸缩，单臂双端
- 定位精度：±0.05mm，重复 ±0.02mm
- 环境：真空 ≤1×10⁻⁵ Pa，Class 1
- 驱动：伺服 + 磁流体密封
- 材质：阳极铝、PEEK 吸盘、316L功能特点：
- 轻量化高速，提升产能
- 磁流体密封，真空可靠
- 低颗粒，满足洁净要求
- 双端执行，同时取放，缩短周期
- 模块化易维护应用场景：真空腔与负载锁内，自动上下料与腔间传输，用于光刻胶去除、刻蚀前处理。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 