产品名称:晶圆顶针驱动组件产品简介:精密驱动总成,驱动工艺腔内晶圆顶针上下运动。技术规格:
- 功能:顶针驱动
- 驱动:气动气缸 + 线性轴承
- 行程:15mm
- 推力:50 lbf
- 材质:阳极铝、不锈钢
- 适用:Aura、L3510功能特点:
- 运动顺滑低摩擦
- 高强度耐磨
- 气动洁净室适用
- 行程可调应用场景:驱动顶针升降,方便机械臂取放晶圆。
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产品Gasonics A95-005-01
品牌Gasonics
型号A95-005-01
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