产品名称：等离子灯驱动模组（V2）产品简介：A‑2000LL 等离子激发系统专用驱动，负责等离子灯点火、功率调节、稳定运行。技术规格：
- 驱动：高频高压
- 输入：120/240V AC
- 输出：0–5kV，0–800W 连续可调
- 频率：13.56MHz
- 控制：0–10V 模拟 + RS‑232
- 保护：拉弧、过流、过压、灯故障功能特点：
- 快速点火 ≤3 秒
- 闭环功率控制，稳定性 ±1%
- 拉弧抑制保护设备
- 模块化直连，易安装维护
- 功率范围宽，适配多工艺应用场景：驱动等离子灯，产生稳定氧 / 氮等离子，用于 200mm 晶圆光刻胶去除、表面清洁。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 