产品名称：负载锁门总成（G 版）产品简介：Aura 2000‑LL 负载锁腔完整门组件，提供真空密封与机械通道。技术规格：
- 类型：气动驱动负载锁门
- 密封：高真空弹性体密封（Kalrez/Viton）
- 适配：200mm 晶圆负载锁
- 驱动：24V 直流电磁阀
- 重量：约 6.35kg功能特点：
- 真空密封可靠，压力循环稳定
- 气动启闭可靠
- 集成安全联锁
- 高循环耐用结构应用场景：负载锁真空隔离与通道，实现晶圆大气 — 真空环境传输。
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Gasonics A95-122-01
2026-03-06 14:37 已有人浏览 小编
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产品Gasonics A95-122-01
品牌Gasonics
型号A95-122-01
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