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Gasonics A95-205-01

2026-03-06 14:37 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics A95-205-01

品牌Gasonics

型号A95-205-01

价格电议

质保一年

电话 15359273790

详情介绍

产品名称：晶圆检测传感器总成

产品简介：非接触光学传感器，检测 Gasonics 工艺腔与负载锁内晶圆有无与位置。

技术规格：

原理：反射式光学（LED / 光电三极管）
距离：0–150mm
输出：TTL 数字信号
环境：真空、洁净室适用
材质：不锈钢、高纯度陶瓷
适用：Aura、L3500
功能特点：
高灵敏度检测薄晶圆
抗工艺气体与等离子辐射
响应快速实时反馈
密封真空适用
校准安装简单
应用场景：晶圆传输系统确认晶圆有无、对位，防止误操作与设备损坏。

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