产品中心

全国服务热线

15359273790

技术过硬，据实报价

其它品牌

当前位置：众创高工业 > 产品中心 > 其它品牌

Gasonics A95-206-01

2026-03-06 14:38 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics A95-206-01

品牌Gasonics

型号A95-206-01

价格电议

质保一年

电话 15359273790

详情介绍

产品名称：晶圆位置传感器总成 / 光学对准模块

产品简介：精密光学传感器，检测工艺腔与负载锁内晶圆有无与对准，为机器人提供反馈。

技术规格：

类型：非接触光学（LED / 光电二极管阵列）
检测：0–200mm 晶圆边缘
输出：TTL 高低电平
环境：真空、洁净室适用
适用：Aura A‑2000LL、Novellus
功能特点：
高灵敏度检测薄晶圆
抗工艺气体与等离子辐射
响应快速实时反馈
密封真空适用
校准对准简单
应用场景：晶圆传输系统确认有无、对位，防止等离子处理中误操作。

上一篇：Gasonics A95-205-01

下一篇：Gasonics A95-219-01

相关产品



