产品名称：200mm 晶圆冷却台总成产品简介：精密晶圆冷却台，用于 Gasonics/Novellus 系统 200mm 晶圆工艺后冷却控温。技术规格：
- 适用：200mm 晶圆
- 冷却：传导冷却，铝平台
- 温控：20℃～80℃
- 均匀性：±0.5℃
- 材质：阳极 6061‑T6 铝、陶瓷绝缘
- 接口：气动夹持，真空兼容
- 适用：Aura A‑2000LL、Novellus 01-0401功能特点：
- 精密平台热接触优良
- 闭环温控稳定
- 气动夹持冷却可靠
- 低出气洁净室适用应用场景：半导体产线冷却高温等离子工艺后晶圆，防止热翘曲，保证后续加工尺寸稳定。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 