产品名称：三轴高级晶圆传输伺服控制器产品简介：AWD-D 系列高性能三轴运动控制器，用于 Gasonics 多腔室集群设备的晶圆传输机器人，实现旋转、伸缩、升降三轴联动高精度控制。技术规格：
- 控制轴数：三轴同步伺服控制
- 适配电机：48V 直流伺服电机
- 反馈类型：高分辨率编码器
- 定位精度：±0.001mm
- 通讯接口：EtherCAT / RS-485
- 工作电压：48V DC功能特点：
- 三轴联动插补，运动轨迹平滑稳定
- 高速响应，提升设备产能与节拍
- 内置多重安全联锁，防止碰撞与误动作
- 支持故障诊断、状态监控、远程升级
- 结构紧凑，适合机柜密集安装应用场景：用于 Gasonics 高端多腔室等离子处理平台，控制机械臂在负载锁、工艺腔、缓冲台之间高速、高精度传送 200mm/300mm 晶圆。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 