产品名称：三轴晶圆搬运伺服驱动控制器产品简介：标准型三轴 AWD-D 控制器，面向 Gasonics 常规产能机型，提供稳定可靠的多轴运动控制，平衡精度与成本。技术规格：
- 轴数：三轴
- 电机适配：48V 伺服系统
- 电流输出：单轴 10A 连续
- 通讯：Ethernet/IP、RS-485
- 重复定位精度：±0.001mm功能特点：
- 成熟稳定的运动控制算法
- 支持点位、圆弧、直线运动
- 过流、过载、过速多重保护
- 与设备主控系统无缝对接应用场景：用于 Gasonics Aura 系列等离子设备，控制三轴晶圆传输机器人，实现稳定自动化上下料与腔间传输。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 