产品名称：高精度红外温度传感器组件产品简介：非接触式红外测温组件，专为 Gasonics 等离子腔体内部温度监测设计，实时采集晶圆或腔体温度，用于工艺闭环控制。技术规格：
- 测温范围：20–400℃
- 精度：±0.5℃
- 响应时间：＜100ms
- 输出：4–20mA / RS-485
- 结构：蓝宝石窗口，316L 不锈钢外壳功能特点：
- 非接触测量，不接触、不污染晶圆
- 真空环境兼容，低出气率
- 抗等离子干扰、抗工艺气体腐蚀
- 长期稳定，免维护应用场景：安装在 Gasonics 工艺腔内部，实时监测晶圆温度，用于去胶、表面处理等需要严格温控的工艺环节。
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 95-0296C 