产品名称：集成系统控制板产品简介：高性能配套电路板，用于 Gasonics PEP 4800DL Iridia、PEP 3510A 等离子处理系统，负责系统逻辑、工艺时序、设备安全联锁。技术规格
- 功能：主系统控制器与过程管理模块
- 适用设备：Gasonics PEP 4800DL、PEP 3510A 双腔体等离子系统
- 架构：多处理器分布式控制功能特点
- 协调复杂多腔体处理流程
- 高级安全联锁与故障检测
- 支持远程监控与控制应用场景
- Gasonics PEP 系列先进等离子系统核心控制板
- 半导体晶圆大批量刻蚀、光刻胶去除
- 高要求制程控制与系统集成
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 95-0296C 