产品名称：高精度晶圆传输驱动组件产品简介：专为 Gasonics 半导体设备设计的高精度电机驱动组件，用于晶圆移动与定位，实现关键传输动作平稳精准。技术规格
- 类型：高精度伺服驱动与电机组件
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL 等带负载锁的系统
- 定位精度：亚微米级重复精度功能特点
- 精准控制晶圆装载、卸载、传输
- 闭环位置反馈
- 洁净室兼容，微颗粒产生量极低应用场景
- 用于 Gasonics Aura 2000LL 单晶圆负载锁系统
- 光刻胶灰化、清洗工艺
- 高可靠性晶圆传输
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Gasonics A95-125-02A AWD-D-2-8-14-001
2026-03-06 15:19 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics A95-125-02A AWD-D-2-8-14-001
品牌Gasonics
型号A95-125-02A AWD-D-2-8-14-001
价格电议
质保一年
电话 15359273790
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 