产品名称：高精度工艺腔体部件产品简介：Gasonics 半导体处理腔体关键结构或功能部件，在强等离子环境下保持尺寸稳定与化学耐受性。技术规格
- 材质：高纯度、等离子兼容耐腐蚀材料
- 适用设备：Gasonics 等离子刻蚀机、灰化机平台
- 结构：精密加工，公差严格功能特点
- 极端工艺条件下保持结构稳定
- 抗工艺气体与等离子腐蚀
- 保证腔体几何稳定，工艺结果一致应用场景
- 安装于 Gasonics 等离子处理腔体
- 高化学抗性、高尺寸稳定性要求的工艺
- 生产与研发环境晶圆处理
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Gasonics 10430-000
2026-03-06 15:20 已有人浏览 小编
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产品Gasonics 10430-000
品牌Gasonics
型号10430-000
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