产品名称：8 英寸负载锁升降逻辑电路板产品简介：专用控制板，用于 Gasonics 8 英寸晶圆负载锁腔体升降机构与逻辑控制，管理晶圆在大气与真空之间的传输定位。技术规格
- 功能：负载锁升降控制与逻辑板
- 适用设备：8 英寸晶圆 Gasonics 处理系统
- 类型：带电机驱动的逻辑控制 PCB功能特点
- 精准控制晶圆升降与定位
- 腔体安全联锁
- 管理大气与真空环境切换
- 晶圆可靠传输，无机械应力应用场景
- 带负载锁腔体的 8 英寸 Gasonics 处理系统
- 半导体制造各工艺段晶圆安全传输
- 真空系统密封维护关键部件
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 