产品名称：负载锁接口控制板产品简介：专用印刷电路板组件，作为负载锁子系统与主控制器之间的通信与控制接口，管理负载锁全部运行。技术规格
- 功能：负载锁系统接口与控制模块
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 接口：多通道数字 I/O功能特点
- 实时监测负载锁压力、门状态、晶圆在位
- 精确控制抽气、放气、门动作
- 集成安全联锁应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 负载锁核心控制
- PEP 4800DL 双腔体刻蚀机负载锁管理
- 晶圆传输真空完整性保障
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Gasonics A89-030-01
2026-03-06 15:38 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics A89-030-01
品牌Gasonics
型号A89-030-01
价格电议
质保一年
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Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
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