产品名称：负载锁接口控制板产品简介：早期版本负载锁接口控制板，为老旧 Gasonics 半导体设备提供基础控制功能，用于 legacy 设备直接替换。技术规格
- 功能：legacy 负载锁接口控制模块
- 适用设备：Aura 之前的老款 Gasonics 等离子系统
- 接口：模拟、数字 I/O功能特点
- 可靠控制抽气、放气、门控
- 兼容老系统架构
- 结构坚固，便于维修应用场景
- 老款 Gasonics 等离子灰化机、刻蚀机维护
- 老旧产线维持运行
- legacy 负载锁子系统替换
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Gasonics 0-2608
2026-03-06 15:38 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics 0-2608
品牌Gasonics
型号0-2608
价格电议
质保一年
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