产品名称：高纯度气体输送歧管组件产品简介：精密配气歧管，用于 Gasonics 半导体设备超纯工艺气体输送，确保无污染、精准供气。技术规格
- 功能：多通道气体分配、隔离歧管
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列气路系统
- 材质：316L 电解抛光不锈钢
- 阀门：高纯度隔膜阀
- 接头：VCR 面密封功能特点
- 多路气体独立控制输送
- 零死区设计，减少污染、交叉
- 耐腐蚀、反应性气体应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机配气
- PEP 系列介质刻蚀精密送气
- 半导体厂工艺纯度保障
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 