产品名称:SCR 控制板组件产品简介:专用 PCB 组件,用于 Gasonics 半导体设备可控硅功率开关电路控制,管理射频发生器、等离子系统大功率供电。技术规格
- 功能:SCR 大功率开关控制模块
- 适用设备:Gasonics 射频等离子发生器系统
- 接口:模拟控制输入、大功率输出功能特点
- 精确相角控制,功率调节平滑
- 快速响应功率需求变化
- 过流、过压保护应用场景
- Gasonics Aura、PEP 系统射频发生器功率控制
- 等离子点火、维持电路大功率开关
- 稳定等离子条件关键部件
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产品Gasonics 73797-05
品牌Gasonics
型号73797-05
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