产品名称：工艺腔体传感器组件套装产品简介：高精度传感器套装，实时监测 Gasonics 半导体工艺腔体内关键参数，包括压力、温度、等离子光强。技术规格
- 功能：多参数工艺监测传感器套装
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 传感器：高精度压力传感器、RTD 温度传感器、光发射检测器功能特点
- 同步监测腔体压力、温度、等离子状态
- 高灵敏度，捕捉微小工艺波动
- 响应快速，可实时调节应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机工艺监控
- PEP 系列介质刻蚀质量控制
- 先进半导体制造关键参数检测
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 