产品名称：晶圆吸盘组件产品简介：精密晶圆夹持支撑组件，用于 Gasonics 半导体设备等离子处理时稳定固定晶圆，保证均匀性与热管理。技术规格
- 功能：精密晶圆夹持支撑
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列工艺腔体
- 适用晶圆：150mm/200mm
- 材质：高纯度、热稳定陶瓷或铝合金功能特点
- 均匀支撑，防止晶圆翘曲
- 导热性好，温度控制精确
- 低颗粒，洁净室兼容应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体晶圆支撑
- PEP 4800DL 双工位刻蚀机晶圆固定
- 等离子曝光时保持晶圆平整度
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 