产品名称：晶圆台接口控制板产品简介：专用 PCB，管理 Gasonics 半导体设备晶圆台接口与控制功能，协调定位、传输、安全联锁。技术规格
- 功能：晶圆台控制与接口模块
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 接口：多通道数字 I/O功能特点
- 实时监测晶圆在位、位置、台状态
- 精确控制传输、定位时序
- 安全联锁，防止晶圆损伤应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 晶圆台控制接口
- PEP 4800DL 双腔体刻蚀机晶圆台管理
- 晶圆传输可靠性保障
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Gasonics A95-218-01
2026-03-06 15:51 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics A95-218-01
品牌Gasonics
型号A95-218-01
价格电议
质保一年
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Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
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