产品名称：精密晶圆吸盘组件产品简介：升级版精密晶圆夹持支撑组件，优化热管理与晶圆稳定性，用于 Gasonics 设备等离子处理。技术规格
- 功能：升级版精密晶圆夹持支撑
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列
- 适用晶圆：150mm/200mm
- 材质：高纯度热稳定陶瓷，导热更强功能特点
- 均匀支撑，高温处理不翘曲
- 导热优异，全片温度均匀
- 低颗粒，洁净室兼容应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体晶圆支撑
- PEP 4800DL 双工位刻蚀机晶圆固定
- 等离子处理平整度保障
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Gasonics A06261-02
2026-03-06 15:51 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics A06261-02
品牌Gasonics
型号A06261-02
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