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Gasonics ST800-C1-M2-QT

2026-03-06 15:52 已有人浏览 小编

分类其它品牌

产品Gasonics ST800-C1-M2-QT

品牌Gasonics

型号ST800-C1-M2-QT

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称:高精度热式质量流量传感器
产品简介:高性能热扩散式质量流量传感器,用于 Gasonics 半导体设备气体流量精确测量,数据稳定可重复。
技术规格
  • 原理:热扩散技术
  • 流量范围:0.0062–838 SCFM
  • 精度:±1.0% 读数,±0.5% 满量程
  • 材质:全焊接 316L 不锈钢
    功能特点
  • 超高可靠流量测量
  • 响应快速
  • 抗工艺气体污染、腐蚀
    应用场景
  • Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机气体流量监测
  • PEP 系列介质刻蚀流量测量
  • 工艺送气精度保障