产品名称:高精度热式质量流量传感器产品简介:高性能热扩散式质量流量传感器,用于 Gasonics 半导体设备气体流量精确测量,数据稳定可重复。技术规格
- 原理:热扩散技术
- 流量范围:0.0062–838 SCFM
- 精度:±1.0% 读数,±0.5% 满量程
- 材质:全焊接 316L 不锈钢功能特点
- 超高可靠流量测量
- 响应快速
- 抗工艺气体污染、腐蚀应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机气体流量监测
- PEP 系列介质刻蚀流量测量
- 工艺送气精度保障
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分类其它品牌
产品Gasonics ST800-C1-M2-QT
品牌Gasonics
型号ST800-C1-M2-QT
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