产品名称:高精度压力传感器产品简介:高性能压力传感器,用于 Gasonics 半导体工艺腔体真空与工艺压力精确测量,数据稳定准确。技术规格
- 功能:高精度压力测量监测
- 量程:0–120 Torr
- 精度:±0.1% 满量程
- 输出:4–20mA功能特点
- 超高测量精度
- 长期稳定,漂移极小
- 快速响应压力变化应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体压力监测
- PEP 4800DL 双腔体刻蚀机真空控制
- 先进半导体制造压力传感
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分类其它品牌
产品Gasonics PTR1000-120-KB
品牌Gasonics
型号PTR1000-120-KB
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