产品名称：升降腔体控制组件产品简介：精密控制组件，管理 Gasonics 工艺腔体内晶圆顶针升降运动，确保处理与传输时升降精准可重复。技术规格
- 功能：晶圆顶针控制定位组件
- 适用设备：Gasonics L3510、Aura 系列
- 运动：垂直升降，亚毫米定位精度功能特点
- 平滑垂直运动，无振动，不损伤晶圆
- 定位精准，等离子曝光均匀
- 集成限位开关保护应用场景
- Gasonics L3510 等离子刻蚀机晶圆顶针控制
- Aura 2000LL 光刻胶灰化机腔体升降
- 工艺均匀性关键部件
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Gasonics 16205-01
2026-03-06 15:53 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics 16205-01
品牌Gasonics
型号16205-01
价格电议
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