产品名称：精密气体阀组件产品简介：高性能阀组件，用于 Gasonics 半导体设备工艺气体流量精确控制，切换快速，工艺稳定。技术规格
- 功能：精密气体流量控制、隔离阀
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 类型：高纯度隔膜阀，快速驱动
- 材质：316L 电解抛光不锈钢功能特点
- 流量控制精确
- 动作快速，工艺步骤切换迅速
- 零死区，减少污染应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机气体控制
- PEP 系列介质刻蚀精密气体调节
- 工艺送气精度保障
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Gasonics A95-023-03
2026-03-06 15:54 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics A95-023-03
品牌Gasonics
型号A95-023-03
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