产品名称：工艺腔体清洁刷组件产品简介：专用清洁刷组件，用于 Gasonics 半导体工艺腔体关键表面温和维护，去除颗粒污染，不损伤部件。技术规格
- 功能：工艺腔体精密清洁刷
- 适用设备：Gasonics Aura、PEP 系列
- 刷毛：高纯度耐腐蚀钢丝功能特点
- 有效去除工艺残留物、颗粒
- 清洁温和，不损伤表面
- 耐化学腐蚀应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 工艺腔体维护清洁
- PEP 4800DL 双腔体刻蚀机保养
- 腔体洁净度、工艺纯度保障
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Gasonics 804-13284
2026-03-06 15:55 已有人浏览 小编
分类其它品牌
产品Gasonics 804-13284
品牌Gasonics
型号804-13284
价格电议
质保一年
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