产品名称：数字式质量流量控制器产品简介：高性能数字式质量流量控制器，用于 Gasonics 半导体设备工艺气体流量精确调节，MEMS 传感 + 快速控制，精度极高。技术规格
- 功能：数字式质量流量测量控制
- 量程：0–260 sccm
- 精度：±1.0% 设定值，±0.5% 满量程
- 接口：RS-485 Modbus RTU
- 材质：316L 不锈钢、VCR 接头功能特点
- 超高精度流量控制
- 响应快速
- 多气体、多量程校准
- 数字通信，便于集成监控应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机气体控制
- PEP 系列介质刻蚀精密流量调节
- 半导体厂工艺重复性保障
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 