产品名称：操作界面控制面板产品简介：专用控制面板组件，为 Gasonics 半导体设备操作人员提供关键系统控制与状态信息，界面直观，操作高效。技术规格
- 功能：操作界面控制、状态显示面板
- 适用设备：Gasonics Aura 2000LL、PEP 系列
- 接口：多功能控制开关、LED 状态指示灯功能特点
- 直接访问关键系统控制、工艺参数
- 清晰状态可视化
- 密封结构，洁净室兼容应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机操作控制
- PEP 4800DL 双腔体刻蚀机系统监控
- 半导体设备操作界面
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 