产品名称:高纯度气体管路组件产品简介:精密气体输送管路总成,用于 Gasonics 半导体设备超洁净、无污染工艺气体输送,气流稳定、纯度高。技术规格
- 功能:超高纯气体输送分配
- 适用设备:Gasonics Aura、PEP 系列气路系统
- 材质:316L 电解抛光不锈钢管
- 接头:VCR 面密封功能特点
- 零死区,无污染、无交叉
- 内壁光滑,少产尘
- 耐腐蚀、反应性气体应用场景
- Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机送气
- PEP 系列介质刻蚀工艺气体输送
- 半导体厂气体纯度保障
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产品Gasonics NL-10256-16
品牌Gasonics
型号NL-10256-16
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