产品名称：高纯度气体输送阀组件产品简介：高精度气体控制阀组件，用于 Gasonics 半导体设备工艺气体控制，实现超洁净、无泄漏、高精度流量调节。技术规格
- 功能：高纯度工艺气体流量控制与关断
- 适配机型：Gasonics 气体输送与控制系统
- 阀门类型：高纯度隔膜阀，动作迅速
- 材质：316L 电解抛光不锈钢，接触气体部分
- 密封：耐腐蚀全氟醚密封，零泄漏功能特点
- 流量控制精准，满足严苛工艺要求
- 开关速度快，工艺步骤切换迅速
- 无死区设计，降低气体污染风险
- 耐腐蚀，兼容各类腐蚀性工艺气体
- 模块化结构，安装维护简单应用场景
- 用于 Gasonics Aura 2000LL 光刻胶灰化机气体控制
- 用于 PEP 系列介质刻蚀设备精密气体调节
- 保障工艺气体精度与纯度的关键部件
- 气体控制系统升级替换阀组件
Gasonics 2000-LL AWD-D-3-1-5-003 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 