产品名称：晶圆位置传感器组件产品简介：高精度晶圆位置检测传感器，用于 Gasonics Aura 2000-LL 工艺腔体，实时反馈晶圆位置，实现精准对位与定位控制。技术规格
- 功能：非接触式晶圆位置检测与监控
- 适配机型：Gasonics Aura 2000-LL 工艺腔体
- 检测技术：高分辨率光学检测系统
- 检测范围：覆盖晶圆全行程定位区间
- 输出：数字位置信号，接入系统控制器功能特点
- 定位检测精度极高，保障晶圆关键操作
- 响应速度快，实时跟踪晶圆位置变化
- 非接触式设计，寿命长、维护少
- 耐真空与等离子腔体环境
- 兼容 Gasonics 腔体控制系统应用场景
- 用于 Gasonics Aura 2000-LL 工艺腔体位置监控
- 用于光刻胶灰化工艺晶圆对位控制
- 提升晶圆处理均匀性的关键部件
- 晶圆定位系统故障替换传感器
Gasonics 908-061N-R 
Gasonics 90-2650 
Gasonics 95-0296C 