产品名称：等离子体设备射频电源模块产品简介：专为 Gasonics 等离子体处理系统设计的高频射频电源核心部件，负责将市电转换为稳定的高频能量，激发并维持工艺腔体内等离子体状态，是等离子清洗、去胶、刻蚀等工艺的动力核心。技术规格
- 输出功率：300W–600W（典型值）
- 工作频率：13.56MHz（工业标准等离子频率）
- 输出模式：连续波（CW），支持脉冲调制
- 冷却方式：强制风冷
- 输入电压：三相 380V AC功能特点
- 功率输出稳定，纹波系数低，保障等离子体均匀性
- 具备过流、过压、过热多重保护，设备运行安全可靠
- 支持远程控制与本地监控，适配自动化产线集成
- 模块化设计，便于快速更换与维护应用场景
- 半导体晶圆光刻后残胶去除（去胶机）
- 晶圆表面氧等离子清洗与活化
- 微机电系统（MEMS）器件表面处理
- 光学元件、精密机械零件等离子清洁
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AE 2001 
Gasonics AWO-1-3 