产品名称：等离子体系统控制组件产品简介：Gasonics Aura 系列等离子设备的核心控制单元，负责协调微波源、气体流量、真空系统、射频电源等子系统，实现工艺参数精准闭环控制与流程自动化管理。技术规格
- 控制接口：RS-232、RS-485、模拟量 I/O（4–20mA/0–10V）
- 控制精度：功率调节精度 ±1%，流量控制精度 ±0.5%
- 工作温度：0–45℃
- 防护等级：IP20（室内安装）功能特点
- 高度集成化，单模块实现多子系统协同控制
- 支持自定义工艺配方存储与调用，最多可存储 100 组工艺参数
- 实时监控腔体压力、温度、气体配比、功率等关键参数
- 具备故障自诊断与报警功能，快速定位异常
- 支持与上位机（PLC/PC）通信，实现产线数据采集与远程控制应用场景
- 适配 Gasonics Aura 2000、3000、L3510 等型号等离子设备
- 半导体制造中光刻胶灰化、干法清洗、表面改性
- 微电子封装领域的引线框架清洁与活化
- 科研实验室等离子体工艺研究与小批量试制
Gasonics 93-00105A 
Gasonics AWO-1-2 
Gasonics AWO-1-3 