产品名称：等离子设备真空阀门控制模块产品简介：Gasonics 等离子系统专用真空阀门控制单元，负责腔体真空阀门（角阀、挡板阀）的驱动与控制，实现腔体真空的建立与隔离。技术规格
- 适配阀门：气动角阀、电动挡板阀
- 控制方式：24V DC 驱动 / 气动控制
- 响应时间：≤50ms
- 接口：数字量控制、状态反馈
- 工作温度：-10–60℃功能特点
- 支持阀门开关控制与状态反馈
- 与真空计联动，实现真空自动控制
- 具备阀门故障检测与报警
- 兼容多种真空阀门品牌，通用性强应用场景：等离子设备腔体、传输腔的真空阀门控制系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 