产品名称：等离子设备微波源控制模块产品简介：Gasonics 微波等离子系统专用微波源控制单元，负责微波功率的输出调控、频率稳定与保护控制，是微波等离子设备的核心控制部件。技术规格
- 适配微波源：2.45GHz，0–1200W
- 控制方式：模拟量（0–10V）/ 数字量控制
- 保护功能：过压、过流、驻波比保护
- 冷却监测：集成水冷流量 / 温度监测
- 通信接口：RS-232功能特点
- 精准调控微波功率输出，线性度优异
- 稳定微波频率，保障等离子体激发效率
- 多重保护机制，保护微波源与腔体
- 支持远程功率设定与状态监控应用场景：Gasonics L3510、Aura 系列微波等离子去胶 / 清洗设备的微波源控制系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 