产品名称：等离子腔体气动控制阀门组件产品简介：Gasonics 等离子系统专用气动阀门执行单元，用于控制工艺腔体、气路及真空管路的通断与切换，保障气体与真空环境的精准控制。技术规格
- 阀体材质：316L 不锈钢，适配腐蚀性工艺气体
- 驱动方式：气动驱动，工作气压 4–6 Bar
- 密封材质：全氟醚（Kalrez），耐等离子体腐蚀
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s He
- 响应时间：≤50ms功能特点
- 高洁净度设计，无颗粒释放，适配半导体工艺
- 快速开关响应，支持高频次动作
- 集成位置反馈与故障检测功能
- 模块化结构，便于安装与维护应用场景：等离子清洗、去胶、蚀刻设备的腔体门控制、工艺气体通断、真空管路隔离。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 