产品名称：等离子设备射频电源驱动模块产品简介：Gasonics 射频等离子系统专用电源驱动控制单元，负责射频电源的功率输出调控、频率稳定与保护控制，是射频等离子设备的核心控制部件。技术规格
- 适配射频电源：13.56MHz，0–1000W
- 控制方式：0–10V 模拟量闭环控制
- 保护功能：过压、过流、过热、驻波比（VSWR）保护
- 通信接口：RS-485，支持远程监控
- 工作电源：24V DC功能特点
- 精准线性调控射频功率输出，稳定性高
- 快速响应功率设定，维持等离子体状态稳定
- 多重安全保护机制，保护电源与腔体电极
- 兼容 Gasonics 主流射频电源型号应用场景：射频等离子蚀刻、沉积、清洗设备的射频电源控制系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 