产品名称：微波等离子系统水冷控制模块产品简介：Gasonics AWO 系列专用水冷控制单元，负责微波源、腔体电极的水冷系统监测与控制，保障设备散热稳定。技术规格
- 监测参数：水冷流量、进水 / 出水温度
- 控制范围：流量 1–5L/min，温度 15–30℃
- 报警阈值：流量低限、温度高限
- 输出控制：水冷泵启停、流量调节阀
- 通信接口：RS-232功能特点
- 实时监测水冷系统状态，异常立即报警
- 自动调节水冷流量，保障散热效率
- 与微波源联动，过热自动降功率保护
- 支持远程监控与参数设定应用场景：Gasonics 微波等离子设备的水冷系统控制。
Gasonics 16495-01 
Gasonics 95-3783 
Gasonics 90-2686 PCA 
Gasonics A95-053-02 C 