产品名称：微波等离子系统气体控制模块产品简介：Gasonics AWO 系列专用气体控制单元，集成多路 MFC，实现工艺气体的精确配比与输送。技术规格
- 气体通路：3 路独立 MFC 控制
- 流量量程：0–8SLM（O₂）、0–1SLM（N₂/CF₄）
- 控制精度：±1% 满量程
- 阀体材质：316L 不锈钢
- 通信接口：RS-485功能特点
- 多路气体独立控制，支持动态配比调节
- 高洁净度设计，无颗粒污染
- 快速响应，气体切换时间短
- 集成流量异常报警与联锁保护应用场景：微波等离子去胶、清洗设备的工艺气体供应系统。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 