产品名称：微波等离子系统温度控制模块产品简介：Gasonics AWO 系列专用腔体温度控制单元，为腔体电极 / 托盘提供精准加热与温度闭环控制。技术规格
- 加热功率：0–1500W，可控硅输出
- 控温范围：室温–350℃
- 控温精度：±0.4℃
- 传感器类型：PT100 铂电阻
- 控制方式：PID 闭环控制功能特点
- 快速升温与精准恒温，温度波动极小
- 支持温度梯度控制，适配特殊工艺需求
- 具备超温保护与传感器故障诊断
- 与设备主控系统联动，实现温度与工艺同步应用场景：微波等离子去胶、表面改性、晶圆退火等工艺设备。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 