产品名称：微波等离子系统模拟量 I/O 模块产品简介：Gasonics AWO 系列专用 I/O 扩展模块，提供多路模拟量信号采集与输出接口，扩展设备控制与监测能力。技术规格
- 模拟量输入：6 路，0–10V/4–20mA 可选
- 模拟量输出：3 路，0–10V
- 分辨率：12 位
- 隔离电压：1500V DC
- 通信接口：RS-485功能特点
- 扩展设备模拟量 I/O 能力，适配复杂工艺
- 高隔离设计，抗干扰能力强
- 即插即用，配置简便
- 与 AWO 主控模块无缝兼容应用场景：Gasonics AWO 系列微波等离子设备的信号采集与控制扩展。
Gasonics A93-021-04/C 
Gasonics 27-169988-00 
Gasonics 001-6300-03 
Gasonics A93-021-05/D 